EOULU CM300
X-Y轴移动范围:301X501mm
X-Y轴精度:≤1um
Z轴移动范围:10mm
Z轴精度: ≤ 1um
移动范围:±3.75°
移动精度:≤2um
测试项目:毫米波测试、直流测试、晶圆可靠测试、FA测试、1/f测试、量产测试、射频测试