EOULU CM300
X-Y轴移动范围：301X501mm
X-Y轴精度：≤1um
Z轴移动范围：10mm
Z轴精度： ≤ 1um
移动范围：±3.75°
移动精度：≤2um
测试项目：毫米波测试、直流测试、晶圆可靠测试、FA测试、1/f测试、量产测试、射频测试
