晶圆级自动化芯片测试平台

EOULU CM300

X-Y轴移动范围:301X501mm

X-Y轴精度:≤1um

Z轴移动范围:10mm

Z轴精度: ≤ 1um

移动范围:±3.75°

移动精度:≤2um

测试项目:毫米波测试、直流测试、晶圆可靠测试、FA测试、1/f测试、量产测试、射频测试